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      CVD涂層設備
      

      CVD涂層設備
      

      產地：上海產品型號：CVD價格：面議 發布時間：2014-11-29
      


      CVD涂層設備技術參數

      

      一、系統的主要組成及技術指標

      系統主要由涂層沉積真空室、外加熱爐、氣路系統、尾氣處理系統等組成，實現加溫后，通入工作氣體，實現樣品的涂層生長等功能。

      1.使用機械泵抽氣真空度可達到：1Pa；

      2.*高溫度：1100℃；

      3.真空室內徑：230mm;

      4.恒溫區范圍：600mm×230mm

      5.進氣管直徑：10mm

      6.氫氣*大流量：30SLM; 氮氣*大流量：100SLM；甲烷*大流量：5SLM

      7.浴槽罐的容量：5公斤；水浴加熱*高溫度：100℃；浴槽罐數量：2套

      8.氣管加熱溫度：150℃

      


      

      

      

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